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熱式氣體流量傳感器是基于流體傳熱學(xué)原理的一類傳感器，利用 MEMS 熱式原理對管路氣體介質(zhì)進行流量監(jiān)測。
流量芯片由兩個熱偶堆和一個加熱電阻組成，熱偶堆對稱的分布在加熱電阻的上、下游，加熱電阻和熱偶堆的熱結(jié)處于一個隔熱底座上。
當(dāng)流體靜止時，加熱電阻兩側(cè)對稱位置的溫度是相同的，當(dāng)流體從右向左流動時等溫線向左側(cè)傾斜，加熱電阻兩側(cè)對稱位置的溫度不再相同，溫差可由置于加熱電阻兩側(cè)的熱偶堆測定。由于流體的傳熱只與流體質(zhì)量和流體的熱容有關(guān)，因此傳感器可以直接測出流體質(zhì)量流量。
熱式氣體流量傳感器利用比較簡單的構(gòu)造來準(zhǔn)確地測量氣體的質(zhì)量流量，具有結(jié)構(gòu)簡單、壓損小、量程范圍寬等優(yōu)點，在工業(yè)過程控制、醫(yī)療設(shè)備、便攜式儀器、環(huán)境監(jiān)測設(shè)備等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。
在醫(yī)療設(shè)備中，流量傳感器是氣路系統(tǒng)的重要元件，醫(yī)院的病床供氧、樓層管道供氧以及呼吸機、制氧機、麻醉機等醫(yī)療設(shè)備中，為保證治療效果，需要精準(zhǔn)控制氣體流量。
醫(yī)療設(shè)備的精準(zhǔn)控制是關(guān)乎患者生命安全的大事，現(xiàn)代化的多傳感器融合技術(shù)也讓醫(yī)療過程有了可靠的解決方案。
流量是很多領(lǐng)域的一個重要參數(shù)，在工業(yè)控制和民用設(shè)施中，為了保證設(shè)備無故障檢測及檢測結(jié)果的可靠性，許多過程都需要氣體介質(zhì)的流入和流出量保持一致，這就離不開流量傳感器的精準(zhǔn)測量。
原子分光光度計、氣相色譜儀、氣密檢漏儀、風(fēng)速計、粒子計數(shù)器等儀器儀表中，都會用到流量傳感器。
在環(huán)境治理研究中，需要氣體以流動形式參與反應(yīng)，流動相反應(yīng)過程中氣體始終處于流動狀態(tài)，因此實驗過程中也需要通過流量傳感器來精準(zhǔn)調(diào)節(jié)氣體流量穩(wěn)定參與反應(yīng)。
隨著技術(shù)的發(fā)展，國內(nèi)的氣體流量傳感器在結(jié)構(gòu)、測量精度、靈敏度、穩(wěn)定性、功耗、成本等方面都有了很大的提升，越來越能夠滿足不斷變化的市場需求。
煒盛科技自主研發(fā)的氣體流量傳感器于2012年即成功面世并取得相關(guān)專利，同時我們還參與起草了《JB/T 13111-2017 熱式質(zhì)量流量傳感器》的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
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